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자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제1권 제3호
발행연도
1992.10
수록면
400 - 406 (7page)

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목차

1. 진공이란?

2. 진공기술의 태동

3. Ott von Guericke의 실험과 기체운동학 (Gas Kinematics)의 발전

4. 19세기 말(1860~1900) : 초기 진공 기술과 기초물리 및 화학의 탄생

5. 에디슨의 백열등 발명

6. 1900~1940년대 : 고진공기술 발전

7. 진공기술의 산업에의 응용

8. 제2차 세계대전과 진공기술

9. 초고진공기술의 발전

10. 1960년 이후 : 거대 초고진공 시스템들 (우주환경실험, 가속기) 제작

11. 반도체 산업의 발전과 진공산업

12. 결론

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