보론 스퍼터링과 Ar과 N2 가스를 사용한 반응성 스퍼터링 연구

송영식

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 송영식 (한국생산기술연구원)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2019년도 한국표면공학회 추계학술대회 및 특별강습회

발행연도: 2019.11

수록면: 102 - 102 (1page)

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