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저자정보
Hwang, Chi-Sun (Transparent Electronics Team, ETRI) Kopark, Sang-Hee (Transparent Electronics Team, ETRI) Byun, Chun-Won (Transparent Electronics Team, ETRI) Ryu, Min-Ki (Transparent Electronics Team, ETRI) Yang, Shin-Hyuk (Transparent Electronics Team, ETRI) Lee, Jeong-Ik (Transparent Electronics Team, ETRI) Chung, Sung-Mook (Transparent Electronics Team, ETRI) Kim, Gi-Heon (Transparent Electronics Team, ETRI) Kang, Seung-Youl (Transparent Electronics Team, ETRI) Chu, Hye-Yong (Transparent Electronics Team, ETRI)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2008년도 International Meeting on Information Display
발행연도
2008.1
수록면
1,466 - 1,469 (4page)

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We have fabricated 2.5 inch QQCIF AM-OLED panel driven by ZnO-TFT on a plastic substrate for the first time. The number of photo mask for the whole panel process was 5 and the TFT structure was top gate with active protection layer as a first gate insulator. Optimizing the process for the substrate buffer layer, active layer, ZnO protection layer, and gate insulator was key factor to achieve the TFT performance enough to drive OLED. The ZnO TFT has mobility of $5.4\;cm^2/V.s$, turn on voltage of -6.8 V, sub-threshold swing of 0.39 V/decade, and on/off ratio of $1.7{\times}10^9$. Although whole process temperature is below $150^{\circ}C$ to be suitable for the plastic substrate, performance of ZnO TFT was comparable to that fabricated at higher temperature on the glass.

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