지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
$SnO_2$ thin films were prepared by radio frequency magnetron sputtering on glass substrates and then vacuum annealed for 30 minutes at 100, 200, and $300^{\circ}C$, respectively. The thickness of films kept at 100 nm by controlling the deposition rate. While the optical transmittance and electrical resistivity of as deposited $SnO_2$ films were 82.6% in the visible wavelength region and $1.9{\times}10^{-3}{\Omega}cm$, respectively, the films annealed at $200^{\circ}C$ show the increased optical transmittance of 84.5% and the electrical resistivity also decreased as low as $8.5{\times}10^{-4}{\Omega}cm$. From the observed results, it is concluded that post-deposition vacuum annealing at $200^{\circ}C$ is an attractive condition to optimize the opto-elecrtical properties of $SnO_2$ thin films for the opto-electrical applications.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
질소분위기 열처리에 따른 SnO<sub>2</sub> 박막의 구조적, 전기광학적 특성 변화
열처리공학회지
2017 .01
-
Ni 층간박막에 따른 SnO<sub>2</sub> 박막의 전기적, 광학적 물성 변화
열처리공학회지
2016 .01
-
SnO<sub>2</sub> 박막의 열처리 온도에 따른 CO<sub>2</sub>가스 반응성
반도체디스플레이기술학회지
2017 .01
-
AZO/Ni/SnO<sub>2</sub> 적층박막의 전기적, 광학적 특성 연구
열처리공학회지
2017 .01
-
열처리 온도 변화에 따른 라디오파 마그네트론 스퍼터링으로 성장된 MgMoO₄:Eu3+ 형광체 박막의 특성
Current Photovoltaic Research
2016 .03
-
TiO<sub>2</sub> 완충층이 IGZO/TiO<sub>2</sub> 이중층 박막의 전기적, 광학적 성질에 미치는 영향
열처리공학회지
2015 .01
-
Simultaneous Ultraviolet and Thermal Treatment Effects on RF-sputtered P-type SnO Thin-Films and Thin-Film Transistors
대한전자공학회 학술대회
2019 .06
-
Ag 중간층이 SnO₂ 박막의 광학적, 전기적 특성에 미치는 영향
한국표면공학회지
2021 .06
-
SnO/Sn 혼합 타겟으로 스퍼터 증착된 SnO 박막의 열처리 효과
마이크로전자 및 패키징학회지
2017 .01
-
DC/RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 TiO2/Ag/TiO2 하이브리드 다층박막의 적외선 반사 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .11
-
Sputtering power dependent properties of Zn2SnO4 films
한국에너지학회 학술발표회
2022 .10
-
Influence of Rapid Thermal Annealing on the Opto-Electrical Performance of Ti-doped Indium Oxide Thin Films
한국표면공학회지
2019 .12
-
SnO/Sn 혼합 타겟을 이용한 SnO 박막 제조 및 특성
한국재료학회지
2016 .01
-
열처리 온도에 따른 Zn<sub>2</sub>SnO<sub>4</sub> 박막의 특성
열처리공학회지
2019 .01
-
Effect of sputtering parameters on the properties of SnO2 films
한국에너지학회 학술발표회
2022 .04
-
Direct Formation of 2-dimensional Molybdenum Disulfide Thin Films by RF Sputtering and Rapid Thermal Annealing on Sapphire Substrate
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2018 .04
-
P-type Electrical Characteristics of the Amorphous La₂NiO4+δ Thin Films
한국표면공학회지
2018 .08
-
RF magnetron sputtering으로 증착한 IGZO 박막의 RF power에 따른 구조적, 광학적 및 전기적 특성 연구
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
-
RF 마그네트론 스퍼터링으로 제조한 SnS 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 열처리 효과
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
-
Development of High Entropy Alloy Film using Magnetron Sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0