지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
Pure Cobalt Thin Film by using Very High frequency (60MHz) Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
Characteristics of low temperature cobalt thins films deposited by VHF PEALD (60 and 100 MHz)
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Properties of cobalt thin films deposited by PEALD using very high frequency (60 and 100 MHz)
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
CO oxidation catalyzed by NiO/mesoporous Al2O3
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Plasma enhanced atomic layer deposition of silicon nitride using a VHF (162 MHz) plasma source
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Application of Atomic Layer Deposition to Solid Oxide Fuel Cells Based on Nanoscale Electrode Modification
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
Deposition and characterization of inorganic thin films by using UV-enhanced Atomic Layer Deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Fabrication of ZnO inorganic thin films by using UV-enhanced Atomic Layer Deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Novel organic-inorganic thin films with monolayer precision using molecular layer deposition (MLD) and atomic layer deposition (ALD)
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
The study of physical property for indium oxide grown by Atomic Layer Deposition (ALD)
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
The Study of interface of In₂O₃ grown by atomic layer deposition (ALD) using Et₂InN(TMS)₂ as In precursor on Si(100)
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
ALD(Atomic Layer Deposition)를 이용한 전하선택접촉박막MoOx의 패시베이션 특성 및 HIT cell 적용
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
Fabrication of Organic-Inorganic Hybrid Encapsulation Layer by Atomic Layer Deposition and Molecular Layer Deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Thin Film Encapsulation with Organic-Inorganic Nano Laminate using Molecular Layer Deposition and Atomic Layer Deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Layer controlled TMDC films by sulfurization of W film deposited by ALD method via Metal-Organic Chemical Vapor Deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Plasma enhanced atomic layer deposition of silicon nitride films using a VHF (162 ㎒) multi-tile push-pull plasma source
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
반도체 high-K 박막 ALD(Atomic layer deposition) 공정용 고순도 전구체 상용표준물질 개발에 관한 연구
한국분석과학회 학술대회
2022 .11
Self-Limiting Atomic Layer Deposition of Nickel Oxide and Nickel Sulfide Thin Films : Simultaneous Understanding of ALD Processing & Mechanism
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
반도체 high-K 박막 ALD(Atomic layer deposition) 공정용 고순도 전구체 상용표준물질의 안정도 평가
한국분석과학회 학술대회
2023 .05
Atomic Layer deposition를 이용한 MoOx 박막 증착의 두께 변화 관찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
0