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실리콘카바이드 플라즈마 에칭 기술 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
탄화규소 플라즈마 연마 기술 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation
대한전자공학회 학술대회
2017 .01
건식 식각 공정 쿼츠의 제작방식에 따른 부품 식각에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
2021 .11
Area-Selective Atomic Layer Deposition and Atomic Layer Etching for 3-D Nano-Patterning Processes
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .11
이온 빔을 이용한 Chrome 원자층 식각 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
모바일 디스플레이용 유리 기판의 미 식각부 두께 최소화를 위한 습식식각 공정조건 최적화
한국기계기술학회지
2015 .01
나노 반도체 소자를 위한 펄스 플라즈마 식각 기술
한국표면공학회지
2015 .12
낮은 GWP의 플루오로카본 전구체를 이용한 SiO₂, Si₃N₄ 원자층 식각공정
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2024 .10
High aspect ratio silicon etching based on Metal-Assisted Chemical Etching process
대한전자공학회 학술대회
2023 .06
유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .07
패터닝한 구리층을 이용한 전해에칭 공정에서의 형상 변화에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
Silicon atomic layer etching by two-step plasma process consisting of oxidation and modification to form (NH₄)₂SiF₆, and its sublimation
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
Atomic-layer transfer process for 2D material based electronics
ITC-CSCC :International Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications
2015 .06
다중 레이저 기반 원자층 분해능 가공 및 진단
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2024 .12
포커스 링 재질과 구조 차이에 따른 식각률 분석을 통한 건식 식각 장비 사용 주기 연장 연구
대한전자공학회 학술대회
2021 .11
구리 보호층을 이용한 전해에칭에서의 다층구조 제작
한국기계가공학회지
2019 .02
Hydrogen-Induced Damage During the Plasma Etching Process
NANO
2017 .01
타원계측장치를 이용한 실시간 원자층 식각률 모니터링에서 기판 온도의 영향
반도체디스플레이기술학회지
2019 .01
유기 킬레이터 물질의 고밀도 플라즈마를 이용한 구리 박막의 나노미터 스케일 식각
전기전자재료학회논문지
2021 .01
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