탄화규소 플라즈마 연마 기술 개발

최용섭 ,  이강일 ,  장수욱

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

CVD-SiC 소재의 가공 특성에 관한 연구

박휘근 ,  이원석 ,  강동원 외 2명

한국기계가공학회지

2017 .10

나노 반도체 소자를 위한 펄스 플라즈마 식각 기술

양경채 ,  박성우 ,  신태호 외 1명

한국표면공학회지

2015 .12

산업용 유도 가열에서 실리콘 카바이드 (SiC)의 강력한 이점 활용하기

Kevin Dykyj

반도체네트워크

2025 .03

고온내산화성 실리콘카바이드 섬유의 국내·외 기술개발 동향

윤병일 ,  최우철 ,  김재성 외 1명

한국추진공학회 학술대회논문집

2015 .05

Optimization of Plasma Atomic Layer Etch Process for Silicon Carbide

K. I. Lee ,  Y. S. Choi

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation

Han-Bit Kim ,  Tae-Ho shin ,  Byeong-Gwan ji 외 7명

대한전자공학회 학술대회

2017 .01

HARC Etch공정의 SiC Focus Ring을 재생 및 통계적 분석을 통한 재사용 가능 여부에 대한 연구

이진실 ,  정현재 ,  권오익

대한전자공학회 학술대회

2022 .11

대기압 플라즈마를 이용한 Si 계 소재 식각 특성

석동찬 ,  노태협 ,  정용호 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

건식 식각 공정 쿼츠의 제작방식에 따른 부품 식각에 관한 연구

임동민 ,  유준현 ,  이종화

대한전자공학회 학술대회

2021 .11

포커스 링 재질과 구조 차이에 따른 식각률 분석을 통한 건식 식각 장비 사용 주기 연장 연구

김성유 ,  최현선 ,  양민호

대한전자공학회 학술대회

2021 .11

핵융합로 디버터 대면재의 W 접합부 미세조직과 마이크로경도 측정

윤한기 ,  한흥남 ,  박준수

대한기계학회 논문집 A권

2017 .12

Hydrogen-Induced Damage During the Plasma Etching Process

윤준호 ,  이정윤 ,  유원종

NANO

2017 .01

펄스 플라즈마를 이용한 식각

양경채 ,  김수강 ,  신예지 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

The Characteristics of SiC Etching Profile Using a Single Filament Dielectric Barrier Discharge

D. C. Seok ,  S. R. Yoo ,  K. I. Lee 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

유도 결합 플라즈마를 이용한 Fence free Ta₂O₅ 박막 식각에 관한 연구

허상욱 ,  김관하

대한전기학회 학술대회 논문집

2021 .10

유기 킬레이터 물질의 고밀도 플라즈마를 이용한 구리 박막의 나노미터 스케일 식각

이지수 ,  임은택 ,  차문환 외 2명

전기전자재료학회논문지

2021 .01

수소 상압플라즈마를 이용하여 조명용 페로브스카이트 박막 식각시 메탈 마스크 크기와 공정 시간에 따른 형상 변화 연구

김경보 ,  이종필 ,  김무진

조명·전기설비학회논문지

2023 .12

Quantitative Analysis for Plasma Etch Modeling Using Optical Emission Spectroscopy : Prediction of Plasma Etch Responses

Young-Seon Jeong ,  Sangheum Hwang ,  Young-Don Ko

Industrial Engineering & Management Systems

2015 .12

SiC/SiC 복합재료의 피로거동

서민수 ,  최재형 ,  김세영 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2015 .04