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저자정보
최하정 (충남대학교) 김시준 (충남대학교) 성인호 (충남대학교) 유신재 (충남대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2021년 한국진공학회 제60회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2021.2
수록면
131 - 131 (1page)

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본 연구는 더 작은, 그리고 열 손상과 전기적인 손상이 적은 센서인, PCB 내 하나의 토로이달 코일로 구성된 전압-전류 센서 개발을 목표로 한다. 컴퓨터 시뮬레이션으로 RF 도선과 토로이달 코일 간 Capacitive 커플링과 Inductively 커플링을 각각 차단해주는 형상을^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE10548782');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#
#공정 모니터링 #전압-전류 센서 #일체형 전압-전류 센서 #전자기 시뮬레이션

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