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김성 (한국생산기술연구원) 이대규 (한국생산기술연구원) 마상범 (한국생산기술연구원) 김정열 (한국생산기술연구원) 김진혁 (한국생산기술연구원)
저널정보
한국에너지학회 한국에너지학회 학술발표회 한국에너지학회 2021년도 추계학술발표회
발행연도
2021.11
수록면
126 - 126 (1page)

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본 연구는 반도체 제조 공정 중에서 반도체 테스트를 위한 챔버 내부의 유동특성을 분석하기 위해 전산유체역학을 이용하였다. 반도체 테스트 공정은 시간 및 비용 절감을 위해 대량의 반도체 칩을 검사를 요구되고 있다. 따라서 반도체 칩 테스트용 챔버 내부의 온도 균일성을 유지 시켜주는 것이 매우 중요하며, 효과적으로 내부의 온도를 균일하게 유지하는 테스트 공정 기술이 요구된다. 반도체 칩 테스터용 챔버 내부의 유속 표준편차 및 유동 특성 분석을 위해 상용 유동해석 프로그램인 ANSYS CFX 19.^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE11029818');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#

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