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저자정보
Sungmin Park (Korea Basic Science Institute) Seohan Kim (Pusan National University) Pungkeun Song (Pusan National University) Janghee Yoon (Korea Basic Science Institute)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2021년도 한국표면공학회 추계학술대회
발행연도
2021.12
수록면
105 - 105 (1page)

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전기적, 광학적, 기계적 안정성이 우수한 산화물(Oxide) / 금속(Metal) / 산화물(Oxide) (OMO) 다중 구조는 다결정 In-Sn-O(ITO)을 대체할 물질로 많은 연구가 진행되어져 왔다. 그러나 다결정 금속층(Ag) 위에 형성되는 Top층의 다결정 구조에 의한 기계적 물성의 열화가 문제 되고 있다. 이 문제를 극복하기 위해 본 연구에서는 OMO구조의 Oxide 층에 수소를 도입하여 다결정(Ag) 층 위에 증착되었음에도 불구하고 안전화 된 비정질 OMO 구조를 제작하였다. 기계적 특성을 심층적으로 분석하기 위해, Dynamic bending test 및 Heat distribution analysis 분석을 실시하였다. 상부 및 하부 Oxide 층에 적절한 양의 수소첨가를 통해, 광학적 및 전기적 특성의 저하 없이 기^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE11030539');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#

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