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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2022.6
- 수록면
- 1,201 - 1,201 (1page)
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2022 .11
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플라즈마 원자층 증착법을 이용한 Pt/Cu 복합촉매 제작 및 전기화학적 분석
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Titanium oxide 원자층 증착을 통한 PEMFC support 내구성 향상
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텅스텐 산화물 지지체에 원자층 증착법을 통해 백금을 증착한 고내구성 PEMFC 촉매
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연료전지 고분자 전해질 분리막의 나노구조화 효과 연구
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플라즈마 원자층 증착 기술의 최근 동향 및 이슈
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Fabrication and Characterization of Cerium Dioxide Thin Films by PEALD
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액적 스퍼터링을 이용한 Pt입자 크기 및 조절 용이한 Pt/C 촉매 제작
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Hollow-Cathode-Plasma을 이용한 원자층 증착 장치 설계 및 제작
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Hollow cathode 플라즈마 원자층 증착법으로 증착한 ZrO₂ 박막 특성 개선
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Hollow cathode plasma 기반 원자층 증착법 공정온도에 따른 TiN 박막 특성 비교
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원자층증착 알루미나에 의해 보호되는 고체산화물연료전지용 백금박막 공기극의 두께결정
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R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발
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Size controlled Pt/C catalyst synthesized by fluidized bed reactor atomic layer deposition
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