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김민식 (고려대학교) 한권덕 (고려대학교) 최형종 (고려대학교) 박종선 (고려대학교) 심준형 (고려대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2018년도 학술대회
발행연도
2018.12
수록면
2,363 - 2,364 (2page)

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#Atomic Layer Deposition (원자층 증착법) #Chemical Vapor Deposition (화학기상 증착법) #thin film (박막) #miniaturization (소형화)

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