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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
임형준 (한국기계연구원)
저널정보
한국진공학회 진공이야기 진공이야기 제10권 제2호
발행연도
2023.6
수록면
12 - 17 (6page)

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Nanoimprint technology has been around for 30 years since it was first introduced. Domestically, various types of equipment and processes have been developed through long-term research and development. Recently, many initiatives are being made to apply this technology to products in various fields. This article aims to introduce the technology that Korea Institute of Machinery and Materials has developed over the past 20 years and suggest the direction that nanoimprint technology should take in the future.

목차

서론
평면 기반 나노임프린트
롤 기반 나노임프린트
공압을 이용한 나노임프린트
나노임프린트 기술의 응용
맺음말
References

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