Enhanced electrical properties of ZrO₂ thin films using atomic layer deposition with a novel precursor

Ji Hwan Kim; Seung Won Lee; Yoonchul Shi; Yeon-Ji Jeon; Ji-Hoon Ahn

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저자정보: Ji Hwan Kim (Hanyang University) Seung Won Lee (Hanyang University) Yoonchul Shi (Hanyang University) Yeon-Ji Jeon (Hanyang University) Ji-Hoon Ahn (Hanyang University)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2024년도 한국표면공학회 추계학술대회

발행연도: 2024.10

수록면: 40 - 40 (1page)

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