다양한 전구체의 펄스 시간에 따른 원자층 박막 증착을 통한 박막 특성 비교

정헌준; 최윤성; 심준형

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 정헌준 (고려대학교) 최윤성 (고려대학교) 심준형 (고려대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2022년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2022.5

수록면: 492 - 492 (1page)

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심준형

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논문수 75 이용수 4,765

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