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지홍석 (충북대학교) 손돌 (충북대학교 반도체공학부) 연주원 (충북대학교) 길태현 (충북대학교) 박효준 (충북대학교) 윤의철 (충북대학교) 이문권 (충북대학교) 박준영 (충북대학교)
저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제37권 제5호
발행연도
2024.9
수록면
527 - 532 (6page)

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Physically Unclonable Functions (PUFs) provide a high level of security for private keys using unique physical characteristics of hardware. However, fabricating PUF chips requires numerous semiconductor processes, leading to high costs, which limits their applications. In this work, we introduce a low-cost manufacturing method for PUF security chips. First, surface roughening through wet-etching is utilized to create random variables. Additionally, physical vapor deposition is added to further enhance randomness. After PUF chip fabrication, both Hamming distance (HD) and Hamming weight (HW) are extracted and compared to verify the fabricated chip. It is confirmed that the PUF chip using two different multiple process variables demonstrates superior uniqueness and uniformity compared to the PUF security chip fabricated using only a single process variable.

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