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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김가현 (충북대학교)
저널정보
한국물리학회 새물리 새물리 제69권 제5호
발행연도
2019.5
수록면
584 - 589 (6page)

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본 연구에서는 타원편광분광법 및 수소삼출법을 이용한 박막 실리콘 재료의 재료물성 분석결과를 다룬다. 비정질 실리콘 계열 박막 실리콘 재료는 결정질 실리콘과 다른 특징적 물성을 보이는데, 대표적으로 재료의 밴드갭이 결정질 실리콘의 1.1 eV에 비해 광폭으로 1.7 eV 정도이며, 결정질 실리콘에 비해 높은 흡광계수 및 직접천이 반도체와 같은 거동 등이 있다. 타원편광분광분석법은 시편에 조사된 빛의 편광상태 변화를 관찰하는 기법으로 재료물성의 관점에서는 간접적인 분석법이다. 이를 재료에 대한 의미있는 정보로 변환하기 위해서는 측정결과의 정확한 모델링이 필수적이다. 실리콘 박막의 물성 분석을 위해 토크-로렌츠 분산모델(Tauc-Lorentz dispersion model)을 사용하였다. 타원편광분광법을 이용한 박막 실리콘 재료의 측정결과를 토크-로렌츠 분산모델을 적용하여 분석하는 방법 및 수소삼출 실험결과와의 비교를 통한 분산모델의 적정성 검증에 대한 논의를 다룬다.
#Amorphous silicon #Silicon thin film #Ellipsometry #비정질 실리콘 #실리콘 박막 #타원편광법

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 및 이론
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
REFERENCES

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