적층 구조를 적용한 용액 공정 기반 IGZO 박막 트랜지스터의 신뢰성 향상 :A study of solution processed IGZO TFT using multistacked active layer

김현기

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Type: Thesis

Author: 김현기 (성균관대학교, 성균관대학교 일반대학원)

Adviser: 최병덕

Issue Year: 2015

Copyright: 성균관대학교 thesis is protected by copyright.

Usage25

Research history (3)

2015

용액 공정 IGZO, ITZO 박막 트랜지스터의 특성 분석

김현기 , 최병덕 한국진공학회 학술발표회초록집 2015.08 Proceeding

적층 구조를 적용한 용액 공정 IGZO 박막 트랜지스터의 특성 분석

김현기 , 최병덕 한국진공학회 학술발표회초록집 2015.08 Proceeding

A study of solution processed IGZO TFT using multistacked active layer

김현기 전자전기컴퓨터공 2015.01 Thesis

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#Keywords: IGZO TFT #Ga ratio #multistacked #gate bias stress #stability #mobility

제1장 서론 . 2
1.1 연구배경 2
1.2 연구 동기 및 목적 4
제2장 관련 이론 . 6
2.1 산화물 반도체 6
2.1.1 산화물 반도체의 특징 7
2.1.2 산화물 반도체의 종류 9
가) 2성분계(Binary compound) 산화물 반도체 9
나) 3성분계(Ternary compound) 산화물 반도체 9
다) 4성분계(Quarternary compound) 산화물 반도체 10
2.2 산화물 박막 트랜지스터 11
2.2.1 박막 트랜지스터의 역사 11
2.2.2 박막 트랜지스터의 종류 12
2.2.3 박막 트랜지스터의 구조 15
2.3 박막 트랜지스터의 동작 원리 . 17
2.3.1 선형 영역 (Linear region) 18
2.3.2 포화 영역 (Saturation region) 22
2.3.3 Sub-threshold swing . 22
2.3.4 전달 전도도 (Transconductance, gm) . 23
2.3.5 전계 효과 이동도 (Field-effect mobility, ) 24
2.3.6 문턱 전압 (threshold voltage) 24
2.3.7 On/Off 전류비 . 25
2.3.8 Off-state 누설 전류 (Leakage current) . 25
제3장 실험 방법 . 26
3.1 Spin coating을 이용한 공정 . 26
3.1.1 Spin-on 공정( Spin coater ). 26
3.1.2 빠른 열처리 공정(Rapid Thermal Process) 26
3.1.3 열 증발 증착(Thermal evaporator). 28
3.1.4 소자 측정 장비 28
3.2 a-IGZO 산화물 박막 트랜지스터 제작 . 30
3.2.1 역 스태거드형 박막 트랜지스터 제작 . 30
3.2.2 기판 클리닝(Substrate cleaning) 30
3.2.3 a-IGZO 활성층 증착 및 열처리 31
가) 활성층 용액 제작 ( solution 제작 ) 32
나) 초음파 처리 ( Ultrasonication ) 33
다) Stirring 처리( Magnetic spin bar ) 33
라) 적층 구조 (Multistacked layer) 33
3.2.4 Source/Drain 전극 증착 33
3.2.5 Source/Drain 전극 패턴 형성 34
3.2.6 I-V 측정 34
제4장 실험 결과 및 고찰 . 35
4.1 a-IGZO 박막 트랜지스터 특성 . 35
4.1.1 Ga 비율에 따른 a-IGZO의 Sheet resistance 측정 35
4.1.2 Ga 비율에 따른 a-IGZO의 전달 특성 변화 . 36
4.2 적층 구조를 통한 a-IGZO 신뢰성 향상 . 38
4.2.1 적층 구조에 따른 a-IGZO 전달 곡선 특성. 38
4.2.2 적층 구조에 따른 Positive bias stress 에 따른 신뢰성 측정 40
4.2.3 계면 포획 전하 변화량 추출 43
4.3 Indium 증가를 통한 포화 이동도 향상 46
제5장 결론 . 48
참고문헌 . 50
Abstract 59

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	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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