적층 구조를 적용한 용액 공정 IGZO 박막 트랜지스터의 특성 분석

김현기; 최병덕

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저자정보: 김현기 (성균관대학교) 최병덕

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제49회 하계정기학술대회초록집

발행연도: 2015.8

수록면: 212 - 212 (1page)

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2015

용액 공정 IGZO, ITZO 박막 트랜지스터의 특성 분석

김현기 , 최병덕 한국진공학회 학술발표회초록집 2015.08 학술대회자료

적층 구조를 적용한 용액 공정 IGZO 박막 트랜지스터의 특성 분석

김현기 , 최병덕 한국진공학회 학술발표회초록집 2015.08 학술대회자료

적층 구조를 적용한 용액 공정 기반 IGZO 박막 트랜지스터의 신뢰성 향상

김현기 전자전기컴퓨터공 2015.01 학위논문

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#박막 트랜지스터 #적층 구조 #IGZO #Interface Trap

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김현기

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주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 전기전자공학 > 전자공학

논문수 26 이용수 994

Byoung-deog Choi

소속기관 성균관대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 TOP 5% 공학 > 전기전자공학 > 전자공학

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