RAPID THERMAL PROCESS시 실리콘 웨이퍼 온도 분포와 열 응력 해석

안강호

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 안강호

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제4회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1993.2

수록면: 38 - 40 (3page)

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