TFT-LCD 제조에 사용되는 진공 공정과 플라즈마의 특성

최희환

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 최희환

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제33회 하계학술대회 초록집

발행연도: 2007.8

수록면: 228 - 228 (1page)

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주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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