메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
김종식 (국가핵융합연구소) 김대철 (국가핵융합연구소) 송재민 (국가핵융합연구소) 김용현 (국가핵융합연구소) 송중호 (국가핵융합연구소) 김영우 (국가핵융합연구소) 한덕선 (국가핵융합연구소) 송미영 (국가핵융합연구소)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2019년 한국진공학회 (제57회 하계정기학술대회 초록집)
발행연도
2019.8
수록면
77 - 77 (1page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (4)

2019

식각 공정을 위한 C₄F8/O2/Ar및 C₄F8/O2/Kr플라즈마의 특성 연구
김종식 ,  김대철 ,  송재민 외 5명 한국진공학회 학술발표회초록집 2019.08 학술대회자료
반도체 제조용 플라즈마 공정 장비의 지능화를 위한 플라즈마 엔지니어링 데이터베이스 플랫폼 개발 현황
김종식 ,  김대철 ,  송재민 외 6명 한국진공학회 학술발표회초록집 2019.02 학술대회자료

2018

C4F8 가스를 이용한 식각 공정 플라즈마에서 첨가 가스(Ar, Kr)에 따른 플라즈마 특성 연구
김종식 ,  김대철 ,  김용현 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2018.02 학술대회자료

1999

유도결합형 플라즈마 발생기(Inductively Coupled Plasma Source)에서 발생되는 산소 플라즈마의 특성연구
김종식 ,  김곤호 ,  염근영 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 1999.02 학술대회자료

초록· 키워드

오류제보하기
등록된 정보가 없습니다.
#식각 공정 #첨가가스 #플라즈마 #진단 #특성

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

유전알고리즘과 신경회로망을 이용한 플라즈마 식각공정의 모델링과 최적제어입력탐색
高澤範 ,  車相燁 ,  兪正植 외 5명 전기학회논문지 1996 .01

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-000962437