EPD 신호검출에 의한 플라즈마식각공정의 이상검출

이종민 ,  차상엽 ,  이석주 외 2명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1996 .10

플라즈마 식각공정에서의 EPD(End Point Detection) 제어기에 관한 연구

최순혁 ,  차상엽 ,  이석주 외 2명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1996 .10

EPD 신호궤적을 이용한 개별 웨이퍼간 이상검출에 관한 연구

이석주 ,  차상엽 ,  최순혁 외 2명

제어로봇시스템학회 논문지

1998 .08

EPD 신호궤적을 이용한 개별 웨이퍼간 이상검출 ( Wafer to Wafer Malfunction Detection using EPD Signal )

이석주 ,  차상엽 ,  우광방

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

EPD 신호궤적을 이용한 개별 웨이퍼간 이상검출

이석주 ,  차상엽 ,  우광방

제어로봇시스템학회 합동학술대회 논문집

1998 .03

전자개인선량계(EPD)의 외부피폭방사선량 평가 성능분석

이병일 ,  김태진 ,  임영기

방사선방어학회지

2015 .01

Fault-Tolerant Supervisor for Plasma Etching Systems using EPD Signal

Seong-Jin Pa ,  k ,  Jong-Tae Lim

제어로봇시스템학회 합동학술대회 논문집

1999 .03

신경회로망을 이용한 플라즈마 식각공정의 최적운영과 이상검출에 관한 연구

고택범 ,  차상엽 ,  이석주 외 2명

제어로봇시스템학회 논문지

1998 .08

다중 채널 EPD제어기의 개발

최순혁 ,  차상엽 ,  이석주 외 2명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1997 .10

플라즈마 식각 공정에서 의사결정 알고리즘을 이용한 실시간 식각 종료점 검출

노호택 ,  박영국 ,  한승수

전기전자학회논문지

2016 .03

Flexible Microelectronics; High-Resolution Active-Matrix Electrophoretic Displays

Miyazaki ,  Atsushi ,  Kawai 외 11명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2005 .01

EPD 신호검출에 의한 플라즈마식각공정의 이상 검출

차상엽 ,  이석주 ,  이헌일 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

하이브리드 모델을 이용한 플라즈마 식각 공정에서의 식각종료점 검출

김승균 ,  홍상진 ,  한승수

대한전자공학회 학술대회

2011 .06

90 nm급 텅스텐 폴리사이드 게이트 식각공정에서 식각종말점의 안정화에 관한 연구

천희곤 ,  이징혁 ,  고용득

전기전자재료학회논문지

2005 .01

플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발

권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발 ( Development of Three-Dimensional Etching Simulator for a Plasma Etching Process )

권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

EPD time delay in etching of stack down WSix gate in DPS+ poly chamber

Ko ,  Yong Deuk ,  Chun 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2002 .01

플라즈마 식각에서 기계학습 기반의 종점 탐지

김보배 ,  임성빈 ,  유건욱

대한전자공학회 학술대회

2020 .08

E-paper 컨텐츠 레이아웃 선택이 가능한 템플릿 기반의 EPD 파일 생성 시스템

손봉기

한국컴퓨터정보학회논문지

2018 .12

신경회로망 모델을 이용한 플라즈마 식각공정의 최적 공정 운영 ( Optimal operation of plasma etching process utilizing neural network )

유정식 ,  고택범 ,  차상엽 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01