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제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 논문지 제어로봇시스템학회 논문지 제4권 제4호
발행연도
1998.8
수록면
433 - 440 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1998

신경회로망을 이용한 플라즈마 식각공정의 최적운영과 이상검출에 관한 연구
고택범 ,  차상엽 ,  이석주 외 2명 제어로봇시스템학회 논문지 1998.08 학술저널

1994

신경회로망 모델을 이용한 플라즈마 식각공정의 최적 공정 운영
고택범 ,  차상엽 ,  하대원 외 2명 제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집 1994.10 학술대회자료

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목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 플라즈마 식각공정의 최적운영과 이상검출
Ⅲ. 실험 결과
Ⅳ. 결론
참고문헌

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