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대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술대회 논문집 제20권 2호
발행연도
1997.11
수록면
521 - 524 (4page)

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1998

플라즈마 식각 모델링 및 3차원 토포그래피 시뮬레이터 개발 ( Modeling of Plasma Etching and Development of Three-Dimensional Topography Simulator )
권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명 전자공학회논문지-D 1998.02 학술저널
3D-SURFILER ; Topography Simulator for Plasma Etching Process
권오섭 ,  원태영 대한전자공학회 학술대회 1998.01 학술대회자료

1997

플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발
권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명 대한전자공학회 학술대회 1997.11 학술대회자료
플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발 ( Development of Three-Dimensional Etching Simulator for a Plasma Etching Process )
권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명 대한전자공학회 학술대회 1997.11 학술대회자료

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김동일 ,  박영국 ,  한승수 전기전자학회논문지 2015 .12
플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발
권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명 대한전자공학회 학술대회 1997 .11

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