적층 구조를 적용한 용액 공정 기반 IGZO박막 트랜지스터의 전기적 특성 향상 연구

김순곤; 최병덕

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저자정보: 김순곤 (성균관대학교) 최병덕 (성균관대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제48회 동계정기학술대회초록집

발행연도: 2015.2

수록면: 324 - 324 (1page)

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이나영 , 최병덕 한국진공학회 학술발표회초록집 2015 .08

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