Pulsed Dual Frequency ICP Antenna를 이용하여 증착된 IGZO 박막 특성 연구

이수정; 김호곤; 김태형; 염근영

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이수정 (성균관대학교) 김호곤 (성균관대학교) 김태형 (성균관대학교) 염근영 (성균관대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2018년 한국진공학회 (제54회 동계정기학술대회 초록집)

발행연도: 2018.2

수록면: 202 - 202 (1page)

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#a-IGZO #Sputtering #Pulsed Dual Frequency

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이수정

소속기관 세종대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 23 이용수 834

김호곤

소속기관 성균관대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 1 이용수 16

김태형

소속기관 성균관대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 26 이용수 700

염근영

소속기관 성균관대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 10%

논문수 337 이용수 10,915

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2018-420-001780497

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