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김수인 (국민대학교) 이재훈 (국민대학교) 김홍기 (국민대학교) 김상진 (Adaptive Plasma Technology Corporation (APTC)) 서상일 (Adaptive Plasma Technology Corporation (APTC)) 김남헌 (Adaptive Plasma Technology Corporation (APTC)) 이창우 (국민대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제49회 하계정기학술대회초록집
발행연도
2015.8
수록면
177 - 177 (1page)

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#Nano-Indenter #Adaptively Coupled Plasma(ACP) #Plasma Etching Damage

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