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Low Temperature PECVD process for SiNx/Organic Multilayer Thin Film Encapsulation
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
저온 선형 PECVD를 이용한 OLED용 Encapsulation 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Effect of plasma properties on characteristics of silicon nitride film deposited by PECVD process at low temperature
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Silicon Thin-film Solar Cell Deposited by Using High Working Pressure Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition System
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Environmental reliability and barrier properties of SiOx, SiNx thin film by roll-to-roll PECVD system
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Low-Temperature Synthesis of Wafer Scale WS₂ by PECVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .02
PECVD Synthesis of WS₂ for Hydrogen Evolution Catalysis
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Low-temperature PECVD silicon nitride film for the fabrication of capacitance type pressure sensor
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
VHF-PECVD for a-Si:H and a-SiN:H Film Deposition
Applied Science and Convergence Technology
2019 .09
Plasma Optical Signal Analysis for SiNx Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Correlation Study between Optical Emission Spectroscopy Signals and Silicon Nitride Film Properties in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Prediction of Silicon Nitride Film Properties by the Analysis of Optical Emission Spectroscopy Signals in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Correlation Analysis of Plasma Properties and Film Properties using Optical Emission Spectroscopy in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes of Silicon Nitride
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
Optimized ultra-thin tunnel oxide layer characteristics by PECVD using N₂O plasma growth for high efficiency n-type Si solar cell
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Stabilization of Real-time Thickness monitoring system in PECVD chamber
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
Realization of efficient barrier performance of a silicon nitride film simply via plasma chemistry
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
Plasma nitridation of atomic layer deposition-Al2O3 by NH3 in PECVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Passivation Properties of Hydrogenated Silicon Nitrides deposited by PECVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Synthesis of SiNx:H films in PECVD using RF/UHF hybrid sources
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
세계의 포장 - 배리어 기능 PET보틀 "내면 플라즈마 SiOx 증착"
포장계
2015 .01
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