Plasma Farming : Comprehensive Plasma Application to Agriculture

Suk Jae Yoo

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Oxide 및 Nitride 고선택비 식각 공정에서의 CF4(CHF3)/O2/Ar inductively coupled pulsed plasmas

김희주 ,  신예지 ,  김교운 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Development of methodology for Individual control of ion and radical in dual freqeuncy(13.56 ㎒ + 400 ㎑) pulsed Ar/CF₄/O₂ plasma

정원녕 ,  이장재 ,  이영석 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2021 .02

High-Voltage Solid-State Pulsed Modulator for Plasma Applications

안석호 ,  조현빈 ,  손윤규

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Si Fin etching using Cl₂/Ar Sync, Asynchronized Pulsed Inductively Coupled Plasmas

김희주 ,  김교운 ,  홍종우 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Pulsed Inductively Coupled Plasma Discharge Simulation for Semiconductor Processing in 2D Axisymmetric Structure

Yejin Shon ,  So ,  a Lee 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2020 .11

On the toxicity of the atmospheric pressure pulsed plasma on photosynthetic organs

Youbin SEOL ,  Jae Wook KIM ,  Sehong PARK 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

낮은 GWP를 가진 CxF2xO 을 이용한 SiO2 식각 공정 특성에 관한 연구

탁현우 ,  문룡 ,  성다인 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Study of antibiotic-resistant bacterial inactivation using nanosecond pulsed plasma and dielectric barrier discharge plasma

Ji Hoon Pa ,  k ,  Na 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

The comparative study of pure and pulsed DC plasma sputtering for synthesis of nanocrystalline Carbon thin films

Jin Xiang Piao ,  Manish Kuma ,  Amjed Javid 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Plasma Properties Data Center Activities for Plasma Application in the National Fusion Research Institute

송미영 ,  김대철 ,  권득철 외 16명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Pulsed Inductively Coupled Plasma를 이용한 Si nanostructure 식각 특성

신예지 ,  김희주 ,  김교운 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Effects of high voltage nanosecond pulsed plasma and micro DBD plasma on seed germination, growth development and physiological activities in spinach

Sang Hye JI ,  Ki-Hong CHOI ,  Anchalee PENGKIT 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Challenges and Solution on Large Scale of Atmospheric Pressure Plasma for Environmental Plasma Applications

Due Ba Nguyen ,  Nosi ,  Matyakubov 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Surface treatment of silicon wafer using atmospheric plasmas by AC and unipolar pulsed power

김영운 ,  박주영 ,  최준

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Enhancement of the Virtual Metrology Performance for Plasma-assisted Processes by Using Plasma Information (PI) Parameters

Seolhye Pa ,  k ,  Juyoung Lee 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Characteristic of Cu Film Controlled by Pulsed Power Using Magnetron Sputter System

김도한 ,  지유진 ,  김태형 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Effect of hybrid plasma source on O radical generation in oxygen plasma

Kwan-Yong Kim ,  Kyung-Hyun Kim ,  Young-Hun Hong 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Plasma-induced reaction at plasma-liquid and plasma-polymeric film interface by AC-driven atmospheric pressure plasma

김태환 ,  이승환

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Flexible Plasma Sheets

Guangsup Cho ,  Yunjung Kim

Applied Science and Convergence Technology

2018 .03