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Mechanisms involved in modification of film structure and properties in ICP assisted dc and pulsed dc sputtering
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
Analysis of a-IGZO channel layer deposited via Pulsed-DC sputtering
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
Characteristic of Cu Film Controlled by Pulsed Power Using Magnetron Sputter System
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
Effect of Hydrogen Addtion Ratio on pulsed dc-magnetron sputtered ITO film properties on amorphous/crystalline silicon heterojunction solar cell
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Fabrication of W doped VO₂ thin film by pulsed DC sputtering for smart window application
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
SiO2 and TiO2 thin film deposited by DC pulsed magnetron sputtering with the process variable working pressure
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
Nitrogen doped Titanium Oxide Thin Films Fabricated by DC Magnetron Sputtering Method
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
Optimization for electrical and structural properties of aluminum thin films deposited on glass by DC magnetron sputtering
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Plasma and pulsed power application to agriculture
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Novel synthesis of nanocrystalline thin films by design and control of deposition energy and plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Oxide 및 Nitride 고선택비 식각 공정에서의 CF4(CHF3)/O2/Ar inductively coupled pulsed plasmas
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Automation of dc magnetron sputtering system using real-time thickness monitor
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2019 .11
A Review of Inductively Coupled Plasma-Assisted Magnetron Sputter System
Applied Science and Convergence Technology
2019 .09
Development of methodology for Individual control of ion and radical in dual freqeuncy(13.56 ㎒ + 400 ㎑) pulsed Ar/CF₄/O₂ plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
Crystal Properties of TiO2 Thin Films Grown at Low Temperatures by Reactive DC Magnetron Sputtering
새물리
2019 .02
Controlling the surface energy and electrical properties of carbon films deposited using unbalanced facing target magnetron sputtering plasmas
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
낮은 GWP를 가진 CxF2xO 을 이용한 SiO2 식각 공정 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Low temperature growth of nanocrystalline diamond thin film by surface wave plasma chemical vapor deposition with various working pressures
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Study of Plasma Energy Using Optical Emission Spectroscopy in a Reactive DC Magnetron Sputtering
새물리
2022 .01
RF magnetron sputtering과 O₂ plasma ashing 공정을 이용한 다공성 구조 박막 제작 및 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
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