낮은 GWP를 가진 CxF2xO 을 이용한 SiO2 식각 공정 특성에 관한 연구

탁현우 ,  문룡 ,  성다인 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Effect of hybrid plasma source on O radical generation in oxygen plasma

Kwan-Yong Kim ,  Kyung-Hyun Kim ,  Young-Hun Hong 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Key issues in the design of innovative RF plasma sources

Hong-Young CHANG

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Inductively Coupled Plasma 장치에서 Hybrid Plasma Model을 활용한 C₂F₈/ O₂ 가스의 특성 해석

김환호 ,  이정열 ,  박희성 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Development of an RF matching system in an RF inductively coupled plasma (ICP) source for 100 kW negative ion beam

박민 ,  정봉기 ,  김태성 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Equivalent circuit model of a rectangular RF driven hydrogen ion source for impedance matching network design

허성렬 ,  박민 ,  정봉기 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Plasma-induced reaction at plasma-liquid and plasma-polymeric film interface by AC-driven atmospheric pressure plasma

김태환 ,  이승환

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Flexible Plasma Sheets

Guangsup Cho ,  Yunjung Kim

Applied Science and Convergence Technology

2018 .03

Plasma Properties Data Center Activities for Plasma Application in the National Fusion Research Institute

송미영 ,  김대철 ,  권득철 외 16명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Microwave Plasma Source Optimization for Thin Film Deposition Applications

Mahmoud A. I. Elga ,  hy

Applied Science and Convergence Technology

2022 .03

Enhancement of the Virtual Metrology Performance for Plasma-assisted Processes by Using Plasma Information (PI) Parameters

Seolhye Pa ,  k ,  Juyoung Lee 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

마이크로스트립 라인을 이용한 마이크로웨이브 플라즈마 기술 및 응용

김재호

진공이야기

2020 .09

Plasma Farming : Comprehensive Plasma Application to Agriculture

Suk Jae Yoo

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Challenges and Solution on Large Scale of Atmospheric Pressure Plasma for Environmental Plasma Applications

Due Ba Nguyen ,  Nosi ,  Matyakubov 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Investigation of effect of rf bias frequency on plasma parameters in a remote inductively coupled plasma

Aixian Zhang ,  Moo-Young Lee ,  Ho-Jun Moon 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Oxide 및 Nitride 고선택비 식각 공정에서의 CF4(CHF3)/O2/Ar inductively coupled pulsed plasmas

김희주 ,  신예지 ,  김교운 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Measurement of characteristics of plasma discharge in liquid

Ju-Sung Kim ,  Boo-Ki Min ,  Seong-Oun Kang 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Development of process plasma diagnosis and control system using plasma emission light diagnostics

Jin-Woo CHOI ,  Ye-Seul LEE ,  Tae-Hoon JO 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Development of methodology for Individual control of ion and radical in dual freqeuncy(13.56 ㎒ + 400 ㎑) pulsed Ar/CF₄/O₂ plasma

정원녕 ,  이장재 ,  이영석 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2021 .02

Plasma 모델링과 시뮬레이션을 위한 웹기반 Plasma Chemistry 데이터베이스

박준형 ,  장원석 ,  최희철 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08