개인구독
소속 기관이 없으신 경우, 개인 정기구독을 하시면 저렴하게
논문을 무제한 열람 이용할 수 있어요.
지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2019.8
- 수록면
- 104 - 104 (1page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (2)
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
등록된 정보가 없습니다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
낮은 GWP를 가진 CxF2xO 을 이용한 SiO2 식각 공정 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
-
Oxide 및 Nitride 고선택비 식각 공정에서의 CF4(CHF3)/O2/Ar inductively coupled pulsed plasmas
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
-
Effect of hybrid plasma source on O radical generation in oxygen plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
-
Experimental investigation on plasma density distribution at a wafer-level in an inductively coupled plasma using multiple passive resonant antennas
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
-
Experimental investigation on the plasma generation efficiency and plasma parameters in inductively coupled plasmas with a serial and a parallel antenna
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
-
Inductively Coupled Plasma Simulation Based on Electron Energy Distribution Function and Process Pressure
Applied Science and Convergence Technology
2020 .11
-
Analysis of chemical reactions of CF₄ and C₄F8 for inductively coupled plasma based on plasma parameters
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
-
The effect of gas flow on the substrate temperature distribution in an inductively coupled plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
-
Plasma-induced reaction at plasma-liquid and plasma-polymeric film interface by AC-driven atmospheric pressure plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
-
Flexible Plasma Sheets
Applied Science and Convergence Technology
2018 .03
-
Plasma Properties Data Center Activities for Plasma Application in the National Fusion Research Institute
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
-
Dry etching of Al₂O3 thin films in inductively coupled plasma system
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
-
Investigation of effect of rf bias frequency on plasma parameters in a remote inductively coupled plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
-
Enhancement of the Virtual Metrology Performance for Plasma-assisted Processes by Using Plasma Information (PI) Parameters
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
-
Plasma Farming : Comprehensive Plasma Application to Agriculture
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
-
Research on parallelization mechanism of inductively coupled plasma for large area plasma source
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
-
Challenges and Solution on Large Scale of Atmospheric Pressure Plasma for Environmental Plasma Applications
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
-
Plasma impedance matching technique for bio plasma RF source
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
-
마이크로스트립 라인을 이용한 마이크로웨이브 플라즈마 기술 및 응용
진공이야기
2020 .09
-
Study on the electrical and optical diagnosis of electron temperatures according to conditions of plasma emission light intensity in inductively coupled plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-000963969