R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발

김민식 ,  한권덕 ,  최형종 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .12

The Properties of ZrO₂ Film Deposition by ALD at Low Temperature

양병찬 ,  신정우 ,  권혁동 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2017 .10

소형 원자층 증착 장치

한권덕 ,  박석원 ,  최형종 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

원자적층법(Atomic Layer Deposition) 증착 조건에 따른 ZnO 박막의 특성 변화 확인

홍민표 ,  김경민 ,  송용남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

R2R 기반 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템에 관한 연구

김효태 ,  최경현 ,  양영진 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

Surface Chemistry Modification for Developing Atomic Layer Deposition Process for the 2D Material and Thin Film Deposition on 2D Materials

전우진

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

상온 ALD-MLD 공정을 이용한 산화알루미늄 - 폴리우레아 유무기 복합 유연 봉지 박막 개발

송승학 ,  이재석 ,  서동영 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .11

Investigation of Influence of Deposition Strategies on Thermo-Mechanical Characteristics of Planar Deposition Using a Directed Energy Deposition Process

D. G. Ahn ,  B. L. Chua

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2019 .10

저온에서 원자층 증착법으로 제작된 Al₂O₃, TiO₂ 박막의 특성 연구

김수연 ,  조인호 ,  유영은 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2021 .07

상압 기반의 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템 개발

김효태 ,  최경현 ,  양영진 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .12

공간 분할형 상압 원자층 증착 시스템 개발

이재욱 ,  김현범 ,  양성욱 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2017 .04

원자층 박막 증착법을 이용한 리튬 박막 제작

최윤성 ,  심준형

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

Graphene Oxide 막의 염 제거율 및 안정성 증대를 위한 원자층증착법(Atomic Layer Deposition) 적용 및 평가

김태남 ,  안지훈 ,  이지은 외 3명

대한환경공학회 학술발표논문집

2018 .11

홈메이드 ALD(atomic layer deposition)의 제작과 알루미늄 옥사이드의 제작

박해범 ,  조성민 ,  김건웅 외 4명

대한전자공학회 학술대회

2021 .11

Atomic Layer Deposition 방법을 이용한 Zinc Oxide Hybrid 박막의 기계적 물성 향상

홍민표 ,  김경민 ,  송용남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

유량 변화에 따른 원자층 증착 장비 내부 유동특성 연구

최원준 ,  홍경표 ,  최예린 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .11

다양한 전구체의 펄스 시간에 따른 원자층 박막 증착을 통한 박막 특성 비교

정헌준 ,  최윤성 ,  심준형

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

Characteristics of Al₂O₃ thin films grown by using atomic layer deposition at low temperature

Suyeon Kim ,  Seung-Hun Lee ,  In Ho Jo 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

Advanced atomic layer deposition of ultrathin metal films

한지원 ,  박태주

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

Multi-functional layer coating on nanoparticles via atomic-layer-deposition

홍성환 ,  장은용 ,  박태주

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11