라디오파 마그네트론 스퍼터링으로 성장한 CaWO₄:Dy³⁺ 박막의 광학, 구조, 표면 특성

조신호

새물리

2023 .10

Structural and morphological properties change of Zn and Sn thin films by sputter time

이석희 ,  박주연 ,  최아롬 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Magnetic field optimization for high power impulse magnetron sputtering

David RUZIC ,  P ,  iya RAMAN 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Coercivity field control using magnetron sputtering energy

Changjin Yun ,  Jiho Kim ,  Kungwon Rhie 외 2명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2018 .11

Large-area graphene layer grown by using high power impulse magnetron sputtering

Man-Jia PO ,  De-Chiuan LIOU ,  Min-Yi CHEN 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Design and Analysis of Permanent Magnet Array for Development of Large Area Magnetron Sputtering Sources

Ye-Lim Lee ,  Rambabu Kuchi ,  S 외 4명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2015 .11

Automation of dc magnetron sputtering system using real-time thickness monitor

S. H. Lee ,  Sug-Bong Choe

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2019 .11

Next-generation magnetron sputtering ion source development via an ultra-low cooling system

Joonwoo Kim ,  Si Ho Oh ,  Woo Ri Ju 외 2명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2023 .05

Analysis of a-IGZO channel layer deposited via Pulsed-DC sputtering

Jiwon Choi ,  Jaemin Kim ,  Eun-Chel Cho 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2021 .02

RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구

Junyoung Kang ,  Hyeongsik Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Characteristic of Cu Film Controlled by Pulsed Power Using Magnetron Sputter System

김도한 ,  지유진 ,  김태형 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Optimization for electrical and structural properties of aluminum thin films deposited on glass by DC magnetron sputtering

Shahinu ,  RAHMAN ,  Heon-Ju LEE 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Sputtering 공정 중 발생 된 in-film defect 분석 방법

정현재 ,  이선영 ,  김형우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

고효율 이종접합 태양전지를 위한 RF magnetron sputter로 증착한 ITO:Zr 박막에 관한 연구

Junyoung Kang ,  S. Q. Hussain ,  Anh Le Tuan Le 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Magnetron Sputter Coating of Inner Surface of 1-inch Diameter Tube

Seung-Hee Han ,  Se-Hoon An ,  In-Seol Song 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

A study on the optical and electrical properties of nickel oxide thin films deposited by reactive magnetron sputtering process

Seong woo Jang ,  Sehoon Hwang ,  Sang-Ho Lim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

N₂ 분위기에서 RF magnetron sputtering 방법으로 증착된 TiN박막의 열처리 온도에 따른 내마모 특성 및 표면구조특성 분석

장부성 ,  이창현 ,  박창환 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Optical Properties of Anti-reflection Coating in Visible Range

김경훈 ,  김성민 ,  이근혁 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

RF magnetron sputtering과 O₂ plasma ashing 공정을 이용한 다공성 구조 박막 제작 및 특성 분석

장성우 ,  황세훈 ,  윤정현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Effect of Pressure and Temperature on Al-doped Zinc Oxide Thin Films Deposited by Radio Frequency Magnetron Sputtering

Junyoung Kang ,  Hyeongsik Pa ,  k 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02