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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
조성일 (강원대학교) 정구환 (강원대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제52권 제6호
발행연도
2019.12
수록면
357 - 363 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (7)

2020

ICP 시스템이 결합된 TCVD 장치와 OES 분석법을 이용한 단일벽 탄소나노튜브의 저온합성 연구
조성일 ,  이병주 ,  정구환 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2020.12 학술대회자료

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2018

수평형 열화학기상증착 반응기를 이용한 고수율의 단일벽 탄소나노튜브 합성 연구
조성일 ,  정구환 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2018.06 학술대회자료
수평형 열화학기상증착 반응기에서 합성 위치에 따른 단일벽 탄소나노튜브의 합성 수율 변화
조성일 ,  정구환 한국진공학회 학술발표회초록집 2018.02 학술대회자료

2017

수평형 열화학기상증착 반응기를 이용한 탄소나노튜브 합성 시 기판 위치에 따른 합성 거동 고찰
조성일 신소재공 2017.01 학위논문

2016

에틸렌을 이용한 단일벽 탄소나노튜브의 저온합성
조성일 ,  정구환 한국진공학회 학술발표회초록집 2016.02 학술대회자료

2015

에틸렌 원료가스를 이용한 단일벽 탄소나노튜브의 저온합성
조성일 ,  정구환 한국진공학회 학술발표회초록집 2015.08 학술대회자료

초록· 키워드

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We investigated a synthesis yield and diameter distribution of single-walled carbon nanotubes (SWNTs) with respect to the growth position in a horizontal chemical vapor deposition (CVD) chamber. Thin films and line-patterned Fe films (0.1 ㎚ thickness) were prepared onto ST-cut quartz substrates as catalyst to compare the growth behavior. The line-patterned samples showed higher growth density and parallel alignment than those of the thin film catalyst samples. In addition, line density of the aligned SWNTs at central region of the chamber was 7.7 tubes/㎛ and increased to 13.9 tubes/㎛ at rear region of the CVD chamber. We expect that the enhanced amount of thermally decomposed feedstock gas may contribute to the growth yield enhancement at the rear region. In addition, the lamina flow in the chamber also contribute to the perfect alignment of the SWNTs based on the value of gas velocity, Reynold number, and Knudsen coefficient we employed.
#Single-walled carbon nanotubes #Synthesis yield #Diameter distribution #Chemical vapor deposition #Substrate Position #Raman scattering spectroscopy

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References

참고문헌 (19)

참고문헌 신청
S. Iijima and T. Ichihashi, Single-shell carbon nanotubes of 1-nm diameter. Nature, 363 (1993) 603-605. google schola J. Kong, A. M. Cassell, and H. Dai, Chemical vapor deposition of methane for single-walled carbon nanotubes. Chem. Phys. Lett., 292 (1998) 567-574. google schola M. F. L. De Volder, S. H. Tawfick, R. H. Baughman, and A. J. Hart, Carbon nanotubes: present and future commercial applications. Science, 339 (2013) 535-539. google schola J. W. Kim and G. H. Jeong, Carbon nanotube growth on Invar alloy using coal tar pitch. J. Kor. Inst. Surf. Eng., 50 (2017) 516-522. google schola H. Liu, D. Takagi, S. Chiashi, and Y. Homma, The controlled growth of horizontally aligned single-walled carbon nanotube arrays by a gas flow process. Nanotechnol., 20 (2009) 345604. google schola

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