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플라즈마 임피던스 변화를 이용한 대기압 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
정전용량 변화를 이용한 대기압 제트 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
유도결합플라즈마 공정에서 조건별 플라즈마 방출광 세기 변화에 따른 전자온도의 전기적, 광학적 진단에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
진공 플라즈마 실시간 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
캐패시턴스 변화를 이용한 진공 플라즈마 실시간 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
연속방출광 기반의 대기압 플라즈마 전자진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
이온 주입 공정용 유도 결합 플라즈마에서 이온 밀도 및 플라즈마 발생 효율 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
고주파 플라즈마 발생장지 제작 및 플라즈마 광 방출 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
정전용량 변화를 이용한 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
플라즈마 전기적 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
진공 플라즈마의 실시간 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
고조화파 프로브 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
대기압 플라즈마 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
유한한 크기를 가지는 유도 결합 플라즈마에서 비충돌 가열 매커니즘 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
플라즈마 진단을 위해 개발한 전원장치 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
플라즈마 분광 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
캐패시턴스 측정을 통한 대기압 플라즈마 젯 진단에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
유도 결합 플라즈마에서 안테나의 가상 접지가 전자 밀도 분포에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Fluorocarbon 플라즈마 물성 데이터 complete-set의 개발: 수치적 최적화 및 압축
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
유도 결합형 플라즈마 공정조건 변화에 따른 플라즈마 방전과 전자기장 시뮬레이션의 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
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