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유한한 크기를 가지는 유도 결합 플라즈마에서 비충돌 가열 매커니즘 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
유도결합플라즈마 공정에서 조건별 플라즈마 방출광 세기 변화에 따른 전자온도의 전기적, 광학적 진단에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
이온 주입 공정용 유도 결합 플라즈마에서 이온 밀도 및 플라즈마 발생 효율 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
아르곤 유도 결합 플라즈마에서 플라즈마 최적 생성 조건에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
준광학 밀리미터파를 이용한 유도결합 플라즈마의 물성 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
UV 광흡수법을 이용한 C4F8/Ar 유도결합플라즈마의 CF2 절대밀도 공간분포진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
축전 결합 플라즈마에서 인덕터 종단에 의한 플라즈마 z축 밀도 분포 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
유도 결합 플라즈마원의 외부 냉각에 관한 수치 모델링
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
용량성 결합 플라즈마에서 위상분해광방출 진단법을 이용한 전자가열 및 전자빔 거동 이해와 이를 통한 새로운 플라즈마 밀도 측정 기술 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
연속방출광 기반의 대기압 플라즈마 전자진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
딥러닝과 OES를 이용한 건식 식각 챔버 내 플라즈마 밀도 예측
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
산소 플라즈마에서 전자의 부착 및 탈착이 전자 에너지 분포 함수에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
공진 안테나를 사용한 유도 결합 플라즈마에서 고효율 플라즈마 발생 및 플라즈마 동역학 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
유도 결합 플라즈마에서 웨이퍼 표면의 부유 전위 공간분포 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
대기압 플라즈마 밀도 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
초고속 플라즈마 전자 온도 측정법 개발을 통한 2㎒ 유도 결합 플라즈마의 전자 가열 및 동력학적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
접지침봉에 의한 접지임피던스를 낮추는 방안 연구
한국재난정보학회 논문집
2022 .03
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