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박연수 (광운대학교) 신기원 (광운대학교) 김우재 (광운대학교) 권희태 (광운대학교) 김지환 (광운대학교) 온범수 (광운대학교) 방인영 (광운대학교) 권기청 (광운대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2021년 한국진공학회 제60회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2021.2
수록면
117 - 117 (1page)

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기존의 플라즈마 벌크(Bulk)를 측정하는 탐침형 측정 방식은 공정을 진행 중, 기판 상에서의 플라즈마 진단이 어렵다는 단점이 존재하며 프로브를 플라즈마 내부에 침투하여 측정하는 방식이기에 섭동이 생기는 단점도 존재한다.
본 실험은 여러 조건에서 방전시킨 플라즈마의 상태를 웨이퍼 내에 삽입된 전극 센서를 이용하여 플라즈마 변수 측정을 통^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE10548768');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#
#Substrate status #Plasma status #Wafer sensor

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