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In this paper, physical properties and possible applications of graphene based nano electro-mechanical devices (NEMS) are introduced. After a brief introduction of graphene and NEMS, device fabrication method of graphene NEMS is described. Micro contact transfer method is applied to realize the suspended nano structures with various electrodes under the nano materials. After introducing some interesting physical properties, such as basic mechanical switching and resonance behavior and light emission of suspended carbon structures, possible application of carbon based nano electro-mechanical devices are suggested. Carbon nanostructure based ultra-sensitive mass detector is suggested for one of the promising applications of NEMS devices and our recently accepted HFSP project based on this subject is introduced at the end of paper.
목차
ABSTRACT
서론
나노 전기 역학 시스템 (nano electromechanical system (NEMS))
그래핀 기반 나노 전기 역학 소자의 제작
나노 전기 역학 소자의 역학적 공진 특성
나노 역학 소자의 고주파 소자로의 활용 가능성 연구
공중에 매달린 그래핀 소자의 열발광 특성 관찰
그래핀 나노 전기 역학 공진기의 초미세 질량 센서 응용 연구
맺음말
References
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