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축전결합 $CF_4$/$O_2$/$A_r$ 플라즈마에 의한 Polymethyl methacrylate (PMMA)와 Polycarbonate건식식각 비교
한국재료학회 학술발표대회
2008 .01
고밀도 플라즈마를 이용한 contact hole 식각에서 공정 변수에 따른 식각 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
건식 식각기술의 동향분석
[ETRI] 전자통신동향분석
1989 .06
단결정 실리콘의 이방성 습식식각
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2003 .01
고밀도 플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
NLD Plasma 식각 공정을 이용한 $LiNbO_3$ 광 도파로의 식각 Profile의 특성
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
플라즈마를 이용한 GaAs 반응성 이온 식각
한국재료학회 학술발표대회
2009 .01
고종횡비 실리콘 트랜치 건식식각 공정에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
Downstream 誘導形 반응기의 제작 및 CF4/O2 플라즈마를 이용한 a-Si:H의 식각
대한전자공학회 학술대회
1992 .06
MEMS기반 에너지 하베스터 제작을 위한 실리콘 KOH 식각 모형화
전기전자재료학회논문지
2012 .01
반응성 이온 식각 장비에서 산소 플라즈마를 이용한 백금의 식각에 관한 연구 ( A Study on Pt Etch by Oxygen Plasma in Reactive Ion Etcher )
대한전자공학회 학술대회
1995 .11
반응성 이온 식각 장비에서 산소 플라즈마를 이용한 백금의 식각에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1995 .12
Remote 플라즈마에서 위치 및 반응기체에 따른 PMMA의 식각 특성 분석
화학공학
2006 .01
반도체 제조용 식각기술
발명특허
2005 .01
플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발
대한전자공학회 학술대회
1997 .11
플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발 ( Development of Three-Dimensional Etching Simulator for a Plasma Etching Process )
대한전자공학회 학술대회
1997 .11
플렉시블 터치스크린 및 플렉시블 IC 기술
전자공학회지
2012 .06
하이브리드 모델을 이용한 플라즈마 식각 공정에서의 식각종료점 검출
대한전자공학회 학술대회
2011 .06
염화제이철 수용액에 의한 스테인레스 강판의 식각에 관한 연구
화학공학
2012 .01
염화제이철 용액을 이용한 베릴륨동 기판의 식각 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .10
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