SiO₂ 원자층 식각에서 인가 전력 공정 윈도우와 플라즈마 활성종 간 상관관계

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저자정보: 이영석 (충남대학교) 성인호 (충남대학교) 이장재 (충남대학교) 정원녕 (충남대학교) 김시준 (충남대학교) 이상호 (충남대학교) 조철희 (충남대학교) 서동국 (충남대학교) 유신재 (충남대학교)

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#원자층식각 #플라즈마 #플라즈마진단 #플라즈마활성종

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