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이영석 (충남대학교) 성인호 (충남대학교) 이장재 (충남대학교) 이상호 (충남대학교) 조철희 (충남대학교) 김시준 (나노텍) 유신재 (충남대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2020년 한국진공학회 (제58회 동계정기학술대회 초록집)
발행연도
2020.2
수록면
84 - 84 (1page)

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2020

C4F8/Ar 플라즈마를 이용한 SiO2 원자층 식각의 SiO2 두께 변화 해석 모델
이영석 ,  성인호 ,  이장재 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2020.02 학술대회자료

2019

C4F8/Ar 플라즈마를 이용한 SiO2 원자층 식각에서 활성종 구성 비율에 따른 식각 특성 분석
이영석 ,  김시준 ,  조철희 외 5명 한국진공학회 학술발표회초록집 2019.08 학술대회자료

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#원자층식각 #SiO2 #실시간 공정 모니터링 #공정 해석

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이영석 ,  김시준 ,  조철희 외 5명 한국진공학회 학술발표회초록집 2019 .08

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