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이영석 (충남대학교) 성인호 (충남대학교) 이장재 (충남대학교) 조철희 (충남대학교) 김시준 (나노텍) 유신재 (충남대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2021년 한국진공학회 제60회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2021.2
수록면
80 - 80 (1page)

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사중극자질량분석법은 공정 플라즈마 활성종 모니터링을 위해 널리 사용되고 있다. 이를 플라즈마 진단에 활용하기 위해서 측정된 데이터를 정량화 하는 방법에 대한 연구가 다수 진행된 바 있는데, 관련 이론이 많은 가정을 기반으로 한다는 한계점이 있다. [1,2]. 본 연구에서는 구성성분이 정확^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE10548732');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#
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