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유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
유도결합플라즈마 공정에서 조건별 플라즈마 방출광 세기 변화에 따른 전자온도의 전기적, 광학적 진단에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
아르곤 유도 결합 플라즈마에서 플라즈마 최적 생성 조건에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
유한한 크기를 가지는 유도 결합 플라즈마에서 비충돌 가열 매커니즘 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
이온 주입 공정용 유도 결합 플라즈마에서 이온 밀도 및 플라즈마 발생 효율 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
플라즈마 진단 시스템을 이용한 기판에서의 플라즈마 밀도 측정 실험
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
젯 어레이 형 대기압 플라즈마의 처리 방식이 자궁경부암 세포에 미치는 영향 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
유도 결합 플라즈마원의 외부 냉각에 관한 수치 모델링
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
소재기술 기반의 바이오메디컬 분야 플라즈마 응용연구 현황
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
진공 플라즈마의 실시간 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
대기압 플라즈마 발생장치의 구조에 따른 플라즈마의 특성 및 액체에서의 플라즈마 처리 효과 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
저온 대기압 플라즈마 발생 및 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
UV 광흡수법을 이용한 C4F8/Ar 유도결합플라즈마의 CF2 절대밀도 공간분포진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
유도 결합 플라즈마에서 웨이퍼 표면의 부유 전위 공간분포 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
유도 결합 플라즈마에서 안테나의 가상 접지가 전자 밀도 분포에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
유도결합플라즈마 분광법을 이용한 고순도 알루미나 분석기술
한국분석과학회 학술대회
2020 .06
고주파 플라즈마 발생장지 제작 및 플라즈마 광 방출 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
유도 결합 플라즈마의 방전 방식 조절과 기상 황화에 의한 CuS 입자의 크기 조절
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
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