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최민수 (충남대학교) 이장재 (충남대학교) 김시준 (나노텍광전자연구소) 이영석 (충남대학교) 조철희 (충남대학교) 성인호 (충남대학교) 이상호 (한국기계연구원) 유신재 (충남대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2021년 한국진공학회 제60회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2021.2
수록면
128 - 128 (1page)

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플라즈마 기반 스텔스 기술에 적용을 위한 동일 평면 구조의 유전체 장벽 방전 플라즈마원을 이용하여 아르곤 및 헬륨 가스 방전 특성에 대해 실험적으로 조사하였다. 스텔스 기술의 지표인 레이더 단면적 감소 효과가 적용될 수 있는 수 Torr의 압력에서 고정된 전압을 인가하여 압력, 구동 주파수, 및 가스 비율에^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE10548779');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#
#유전체 장벽 방전(DBD) #저압 플라즈마

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