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The Relation of Refractive Index of Atomic Layer Deposited (ALD) TiO₂ with Growth Temperature
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2019 .04
저온에서 원자층 증착법으로 제작된 Al₂O₃, TiO₂ 박막의 특성 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .07
플라즈마 원자층 어닐링을 이용한 TiO₂의 상 변화
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
플라즈마 원자층 증착 기술의 최근 동향 및 이슈
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .06
플라즈마 강화 원자층 증착법에 의한 TaN<sub>x</sub> 박막의 전기 전도도 조절
한국재료학회지
2018 .01
플라즈마 원자층 증착법을 이용한 결정질 TiO₂ 박막의 저온 증착 및 MIM 캐퍼시터 성능 분석
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .12
플라즈마 원자층 증착법을 이용한 결정성 구배 TiO₂의 광학적/전기적 특성 제어
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .07
원자층 박막 증착법을 이용한 리튬 박막 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .07
Highly Improvement Performance of Ru/TiO₂-ZrO₂-TiO₂/Ru Metal-insulator-metal Capacitors by Formation of Rutile-TiO₂ with High Crystallinity Using Atomic Layer Annealing
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .11
Optimization of Al₂O₃/TiO₂ mixed oxide thin film encapsulation for organic light emittingdiode via plasma enhanced atomic layer deposition
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2015 .04
원자적층법(Atomic Layer Deposition) 증착 조건에 따른 ZnO 박막의 특성 변화 확인
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
원자층 증착 기술을 이용한 TiO2 활성층 기반 TFT 연구
전기전자재료학회논문지
2015 .01
Thermal Cycling Test for Eco-friendly PTC Thermistor in Ba0.97(Bi0.5Na0.5)0.03TiO₃ System
한국신뢰성학회 학술대회논문집
2015 .05
Atomic Layer Deposition of TiO₂ using Titanium Isopropoxide and H₂O : Operational Principle of Equipment and Parameter Setting
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2016 .06
원자층 증착법에 의한 TiO₂, Al₂O₃, 및 TiO₂-Al₂O₃ 나노라미네이트 박막이 316L Stainless Steel의 부식특성에 미치는 영향
한국표면공학회지
2017 .02
Characteristics of Al₂O₃ thin films grown by using atomic layer deposition at low temperature
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
Evaluation of Sn doping and SnO₂ seed layer introduction to grow Rutile-TiO₂ using Atomic Layer Deposition
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .11
연구용 초소형 원자층 층착 장치 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
다양한 전구체의 펄스 시간에 따른 원자층 박막 증착을 통한 박막 특성 비교
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
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