The significant improvement of the sputtering ion source using LN2 cooling

Joonwoo Kim ,  Si Ho Oh ,  Seong Bok Kim 외 4명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2022 .11

Design and Analysis of Permanent Magnet Array for Development of Large Area Magnetron Sputtering Sources

Ye-Lim Lee ,  Rambabu Kuchi ,  S 외 4명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2015 .11

Magnetic field optimization for high power impulse magnetron sputtering

David RUZIC ,  P ,  iya RAMAN 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Coercivity field control using magnetron sputtering energy

Changjin Yun ,  Jiho Kim ,  Kungwon Rhie 외 2명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2018 .11

Large-area graphene layer grown by using high power impulse magnetron sputtering

Man-Jia PO ,  De-Chiuan LIOU ,  Min-Yi CHEN 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Automation of dc magnetron sputtering system using real-time thickness monitor

S. H. Lee ,  Sug-Bong Choe

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2019 .11

RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구

Junyoung Kang ,  Hyeongsik Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Optimization for electrical and structural properties of aluminum thin films deposited on glass by DC magnetron sputtering

Shahinu ,  RAHMAN ,  Heon-Ju LEE 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Structural and morphological properties change of Zn and Sn thin films by sputter time

이석희 ,  박주연 ,  최아롬 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Linear Ion Beam Applications for Roll-to-Roll Metal Thin Film Coatings on PET Substrates

Seunghun Lee ,  Do-Geun Kim

Applied Science and Convergence Technology

2015 .09

Magnetron sputtering 장비의 Target erosion이 증착에 미치는 효과에 대한 2D PIC 시뮬레이션 해석

오세훈 ,  이윤호 ,  박건우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Magnetron Sputter Coating of Inner Surface of 1-inch Diameter Tube

Seung-Hee Han ,  Se-Hoon An ,  In-Seol Song 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

A study on the optical and electrical properties of nickel oxide thin films deposited by reactive magnetron sputtering process

Seong woo Jang ,  Sehoon Hwang ,  Sang-Ho Lim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Optical Properties of Anti-reflection Coating in Visible Range

김경훈 ,  김성민 ,  이근혁 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

RF magnetron sputtering과 O₂ plasma ashing 공정을 이용한 다공성 구조 박막 제작 및 특성 분석

장성우 ,  황세훈 ,  윤정현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Crystal Properties of TiO2 Thin Films Grown at Low Temperatures by Reactive DC Magnetron Sputtering

Hyeok Jee ,  Jin-Soo Kim

새물리

2019 .02

Numerical Analysis of the Incident Ion Energy and Angle Distribution in the DC Magnetron Sputtering for the Variation of Gas Pressure

Min Young Hu ,  Sehun Oh ,  Ho Jun Kim 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2018 .03

Numerical Analysis of the Incident ion Energy and Angle Distribution in the DC Magnetron Sputtering for the Variation of Gas Pressure

Min Young Hu ,  Sehun Oh ,  Ho Jun Kim 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2018 .01

RF magnetron sputtering법으로 제작된 IGZO 박막의 Annealing 변화에 따른 특성 연구

진창현 ,  김홍배

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Fabrication of Potassium Ion Source and its Emission Characteristics

Dae Sun Choi

Applied Science and Convergence Technology

2016 .11