Reduction of Plasma Process Induced Damage during HDP IMD Deposition

Yong Jin Seo ,  Sang Yong Kim ,  Woo-Sun Lee

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2002 .01

DEEP SUBMICRON CMOS TECHNOLOGY AND DESIGN CHALLENGES

Bijan Dava ,  i

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Shallow Trench Isolation Characteristics with High Density Plasma ( HDP ) Gap-Fill Oxide , Compared to HLD Gap-Filler

Seung Ho Lee ,  손정환 ,  Ku Chul Jung 외 6명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

Failure Analysis for High via Resistance by HDP CVD System for IMD Layer

Hun-SangChung ,  Sang-YongKim ,  Yong-JinSeo

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2002 .01

DEPOSITION OF A-SIC : H FILMS ON AN UNHEATED SI SUBSTRATE BY LOW FREQUENCY (50㎐) PLASMA Cvd

M. Shimozuma ,  K. Iba ,  agi 외 5명

한국표면공학회지

1996 .12

차세대 STI Gap Fill 방법의 연구

유진혁 ,  김희대 ,  한정훈 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04

39.3 Hyper-reality Head Dome Projector $^{TM}$(HDP) for future displays

Okumu ,  a ,  Ha 외 8명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2008 .01

Deep sub-micron CMOS의 소자고립을 위한 Shallow Trench 식각공정에 관한 연구

이주훈 ,  김현수 ,  염근영

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

HDP CVD 챔버 형상 변화에 따른 가스 유동 균일성에 대한 연구

장경민 ,  김진태 ,  홍순일 외 1명

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

Deep Submicron급 CMOS 디바이스에서 Triple Well 형성과 래치업 면역 향상에 관한 연구 ( A Study on Improvement Latch-up immunity and Triple Well formation in Deep Submicron CMOS devices )

홍성표 ,  전현성 ,  강효영 외 2명

전자공학회논문지-D

1998 .09

Flowable oxide CVD Process for Shallow Trench Isolation in Silicon Semiconductor

Sung-Woong Chung ,  Sang-Tae Ahn ,  Hyun-Chul Sohn 외 1명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2004 .03

Deep Submicron CMOS ASIC에서 다중 구동 게이트를 갖는 배선회로 해석 기법 ( An Analysis Technique for Interconnect Circuits with Multiple Driving Gates in Deep Submicron CMOS ASICs )

조경순 ,  변영기

전자공학회논문지-C

1999 .12

Deep Submicron PMOSFET의 Scaling 방법 ( Scaling Methodology of Deep Submicron P-MOSFET )

장성준 ,  김용택 ,  유종근 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1995 .11

Deep submicron PMOSFET의 Scaling 방법

장성준 ,  김용택 ,  유종근 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1995 .12

HDP-CVD를 이용한 OLED용 수분침투 방지막에 대한 연구

김창조 ,  신백균 ,  최윤 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

Document Topic Analysis using HDP-HMM

Bong-Kee Sin

한국정보과학회 학술발표논문집

2018 .12

고집적 회로의 트렌치 소자분리를 위한 매립 산화물의 치밀화 연구 ( Densification of the Filled Oxide for VLSI Shallow Trench Isolation ( STI ) )

박태서 ,  이한신 ,  박문한 외 4명

대한전자공학회 워크샵

1996 .01

Multiple-inputs Dual-outputs Process Characterization and Optimization of HDP-CVD SiO₂ Deposition

Sang Jeen Hong ,  Jong Ha Hwang ,  Sang Hyun Chun 외 1명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2011 .09

Shallow Trench Isolation for 0.15mm Device

Jung H. Lee ,  Se J. Rhee ,  Jun G. Choi 외 4명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

TRENCH ETCHING FOR SHALLOW TRENCH ISOLATION USING $Cl_2/Ar$ PLASMA

Kim ,  C.B. ,  Jun 외 7명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01