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A real-time monitoring of an immersed antenna type inductively coupled plasma (ICP) was done with optical emission spectroscopy (OES) to check the reports that sputtered atom density is decreasing as the ICP power is increased1,2). At 10 mTorr pressure of Ar, Mg was sputtered by a bipolar pulsed power supply into 2 MHz ICP which has an insulator covered 2.5 turn antenna. Emitted light was collected in two different positions: above the target and inside the ICP region. With 100 W of Mg sputtering power, the intensities of Mg I (285.06 nm), Mg II (279.48 nm), Ar I (420.1 nm) were increased constantly with ICP power from 100 W to 600 W. At 500 W, the intensity of Mg+ exceeded that of Mg under PID controlled discharge voltage of 180 V. The ratio of Mg II/Mg I was increased from 0.45 to 2.71 approximately 6 times.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 실험 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌
참고문헌 (9)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Y. Matsuda / 2004 / / Thin Solid Films 475 : 113 ~
2. [학술대회논문] - J. C. Imbert / 2004 / / 9th International Conference on Plasma Surface Engineering : 427 ~
3. [학술지(정기간행물)] - O. Leroy / 2004 / / J. Vac. Sci. Technol. A 22 : 192 ~
4. [학술지(정기간행물)] - 김선호 / 2004 / 유도결합 플라즈마 마그네트론 스퍼터링에 의한 MgO 박막의 특성연구 / 한국표면공학회지 37 (3) : 169 ~ 174
5. [학술대회논문] - H. Y. Chang / 2004 / / Fall Conference of the Kor. Inst. Surf. Eng.
2. [학술대회논문] - J. C. Imbert / 2004 / / 9th International Conference on Plasma Surface Engineering : 427 ~
3. [학술지(정기간행물)] - O. Leroy / 2004 / / J. Vac. Sci. Technol. A 22 : 192 ~
4. [학술지(정기간행물)] - 김선호 / 2004 / 유도결합 플라즈마 마그네트론 스퍼터링에 의한 MgO 박막의 특성연구 / 한국표면공학회지 37 (3) : 169 ~ 174
5. [학술대회논문] - H. Y. Chang / 2004 / / Fall Conference of the Kor. Inst. Surf. Eng.
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